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Statek超微型谐振器介绍

2023-09-01 11:26:28 

Statek超小型低剖面石英谐振器,下面介绍了一种超微型低轮廓at切割石英晶体谐振器的物理和电学性能及其生产方法的概述。

一,介绍

AT切割石英晶体谐振器在精密频率控制中已经应用了60多年,是目前应用最广泛的晶体类型之一。虽然传统的AT晶体是盘状的,但对较小组件的需求导致了微型AT带的发展。为了满足制造商对更小部件的需求,Statekj晶振公司开发了一种超微型低轮廓石英晶体,作为其CX-4系列产品的一部分。相比之下,CX-4只需要CX-1的大约三分之一的土地面积和CX-3的大约一半的土地面积。(见表1和图1。)

生产微型石英晶体的一个关键因素是能够产生具有所需的尺寸精度和精确度[1]的谐振器。由于更小的谐振器需要更严格的尺寸公差(例如,为了保持适当的宽长比),所以生产像CX-4这样的超微型谐振器就更加困难了。利用制造石英晶体的光刻工艺和晶片背板,使批量生产超微型石英晶体成为可能。光刻过程提供了所需的精密微加工和尺寸公差,晶片备份器提供了精确的金属沉积到谐振器的电极,用于最终频率调整[2]。

在第二节中,我们概述了用于制造晶体谐振器晶片的光刻工艺。在第三节中,我们讨论了使用晶片背板的最终频率调整。在第四节中,我们简要讨论了谐振器在其封装中的最终组装。最后,在第五节中,我们简要介绍了成品超小型石英晶体谐振器的电学特性。

IQD超微型

Statek超小型低剖面石英谐振器

二,制造

一个典型的超微型AT空白区约为3.50 mm×0.63 mm。由于小尺寸,获得可接受的产量需要2 μm的公差。虽然传统的加工技术不能满足这种严格的公差要求,但光刻工艺能够保持超过1 μm的尺寸公差。

光刻过程从抛光石英晶片(1″×1″或更大)。这些贴片晶振晶片被化学蚀刻到预定的频率,清洗,并使用电子束真空沉积系统用铬和金的薄膜金属化。(也可以使用铝或银等其他金属。)at条图案是使用掩模和双对准器进行光刻摄影生成的,其中晶片的顶部和底部表面同时对齐和曝光。晶体电极和探针垫图案然后由随后的光掩蔽步骤来定义。然后对晶片进行化学金属和石英蚀刻,形成单独的at条。最后,利用孔径掩蔽和薄膜金属沉积[2]将顶部和底部安装垫连接在一起。

一旦光蚀刻过程完成,我们的晶片包含125个单独的超微型AT晶体谐振器,如图2所示。每个谐振器通过两个小石英片物理连接到晶片,它们也将谐振器电连接到晶片上的探针垫。这使得在每个谐振器仍然在晶圆上时对其进行电测试。

三,频率调节

虽然晶圆上的单个谐振器的频率彼此相当接近,但变化可高达1%。这种变化归因于晶片厚度的不均匀性(楔入),以及在较小程度上,金属化厚度的不均匀性。

晶片上谐振器的频率的变化在其生产过程中得到了考虑,因此每个谐振器现在都高于期望的最终频率。然后,使用晶圆备份器,在每个谐振器的电极上沉积一层金薄膜,使其频率降低到最终频率[1]。

晶圆背景器的目的和概念类似于通常的石英晶体谐振器的背镀封装,通过沉积金来控制频率降低。关键的区别在于,在晶圆备份系统中的定位更加精确。由于谐振器已经在封装中,可以应用于背板的精度受到谐振器可以放置在封装中的精度的限制(除非使用图像识别系统)。由于谐振器仍在晶片上,每个谐振器的位置都是固定的和已知的。

此外,尽管在这两种情况下,金通过一系列孔沉积在谐振器电极上,在晶片背板中,暴露谐振器电极的孔本身是石英晶片,使用与石英晶片相同的工艺和使用产生晶片的相同掩模图案制作的石英晶振。因此,孔径晶片的尺寸和公差为晶片的尺寸,两者的对准度优于25 μm。

由于晶片上每个谐振器在晶片上的位置是固定且已知的,晶片背镀系统可以使用晶片上的探针垫对每个谐振器进行探测,然后自动单独反转每个谐振器

IQD超微型3

Statek超小型低剖面石英谐振器

四,组装

在晶片上的所有谐振器被调整到所需的频率后,每个谐振器被移除并安装在一个陶瓷封装中。该操作使用半自动组装设备进行,该设备从晶圆上冲出并拾取出晶体,同时在晶体封装上分配导电环氧树脂。然后,晶体被定位并放置在晶体封装腔中。(见图。 3.)这个副组装的晶体然后使用匹配的玻璃或陶瓷盖进行密封。

五,电气特性

回想一下,晶体的隔离模式被电地建模为电容C0,与电感L1、电容C1和电阻R1的一系列组合并行。超微型AT晶体与其较大的同类晶体的主要区别在于一个更大的串联电阻R1和一个较小的串联电容C1(两者都是由于电极[3]的面积较小)。在表2中,我们给出了三种不同频率的CX-4 AT晶体的电学参数。使用这些值作为它们较大的CX-1对应物的值(这里没有给出),我们发现R1大约是其较大的CX-1对应物的阻力的2到三倍,而C1大约是CX-1值的一半到三分之一。

IQD超微型1

在图4中超微型晶体的阻抗扫描中可以看到,这样的小晶体可以很好地表现为电,因为它们的基本模与其他石英晶体的模很好地分离。在大约占晶体基频5%的频带中,只有一种非谐波模式可见。该模态的电阻足够高,而且它离主模态(在频率上)足够远,因此其影响可以忽略不计。

IQD超微型2


晶振编码 制造商 系列 描述 频率 频率稳定性
LFXTAL060055REEL IQD晶振 IQXC-41 CRYSTAL 24.0000MHZ 18PF SMD 24 MHz ±30ppm
LFXTAL081616REEL IQD晶振 IQXC-26 CRYSTAL 37.4000MHZ 8PF SMD 37.4 MHz ±20ppm
LFXTAL057824REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 27.0000MHZ 18PF SMD 27 MHz ±30ppm
LFXTAL059529REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 18.4320MHZ 18PF SMD 18.432 MHz ±30ppm
LFXTAL059539REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 48.0000MHZ 18PF SMD 48 MHz ±30ppm
LFXTAL066198REEL IQD晶振 IQXC-90 CRYSTAL 32.7680KHZ 9PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL009678REEL IQD晶振 CFPX-217 CRYSTAL 32.7680KHZ 12.5PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL084884REEL IQD晶振 IQXC-217 32.7680KHZ CRYSTAL IQXC-217 32.768 kHz -
LFXTAL084885REEL IQD晶振 IQXC-217 32.7680KHZ CRYSTAL IQXC-217 32.768 kHz -
LFXTAL029914REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 8.0000MHZ 16PF SMD 8 MHz ±50ppm
LFXTAL036274REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 8.0000MHZ 18PF SMD 8 MHz ±50ppm
LFXTAL056855REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 13.0000MHZ 18PF SMD 13 MHz ±50ppm
LFXTAL032542REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 3.579545MHZ 18PF SMD 3.579545 MHz ±30ppm
LFXTAL030798REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 3.6864MHZ 16PF SMD 3.6864 MHz ±50ppm
LFXTAL055999REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 12.0000MHZ 18PF SMD 12 MHz ±30ppm
LFXTAL082075REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 30.0000MHZ 8PF SMD 30 MHz ±20ppm
LFXTAL069407REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 30.0000MHZ 10PF SMD 30 MHz ±20ppm
LFXTAL072787REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 50.0000MHZ 18PF SMD 50 MHz ±30ppm
LFXTAL071261REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 27.0000MHZ 10PF SMD 27 MHz ±100ppm
LFXTAL036401REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 12.0000MHZ 18PF SMD 12 MHz ±50ppm
LFXTAL073264REEL IQD晶振 IQXC-25 CRYSTAL 32.7680KHZ 6PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL055299REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 25.0000MHZ 18PF SMD 25 MHz ±50ppm
LFXTAL082071REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 16.0000MHZ 8PF SMD 16 MHz ±20ppm
LFXTAL071260REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 26.0000MHZ 10PF SMD 26 MHz ±100ppm
LFXTAL069404REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 19.2000MHZ 10PF SMD 19.2 MHz ±20ppm
LFXTAL059613REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 14.31818MHZ 18PF SMD 14.31818 MHz ±30ppm
LFXTAL061647REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 12.0000MHZ 12PF SMD 12 MHz ±30ppm
LFXTAL059526REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 14.31818MHZ 18PF SMD 14.31818 MHz ±30ppm
LFXTAL059535REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 32.0000MHZ 18PF SMD 32 MHz ±30ppm
LFXTAL059530REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 24.0000MHZ 18PF SMD 24 MHz ±30ppm
LFXTAL011301REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 8.0000MHZ 30PF SMD 8 MHz ±50ppm
LFXTAL003237REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 16.0000MHZ 16PF SMD 16 MHz ±50ppm
LFXTAL026902REEL 欧美晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 8.1920MHZ 16PF SMD 8.192 MHz ±50ppm
LFXTAL028392REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 4.9152MHZ 18PF SMD 4.9152 MHz ±50ppm
LFXTAL071750REEL IQD晶振 IQXC-180 AUTO CRYSTAL 20.0000MHZ 8PF SMD 20 MHz ±50ppm
LFXTAL026388REEL IQD晶振 12SMX-B CRYSTAL 14.7456MHZ 16PF SMD 14.7456 MHz ±50ppm
LFXTAL072546REEL IQD晶振 IQXC-42 CRYSTAL 48.0000MHZ 10PF SMD 48 MHz ±20ppm
LFXTAL069387REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 24.5760MHZ 10PF SMD 24.576 MHz ±20ppm
LFXTAL069392REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 16.0000MHZ 10PF SMD 16 MHz ±20ppm
LFXTAL082084REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 27.0000MHZ 10PF SMD 27 MHz ±10ppm
LFXTAL078719REEL IQD晶振 CFPX-218 CRYSTAL 25.0000MHZ 10PF SMD 25 MHz ±10ppm
LFXTAL030820REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 30.0000MHZ 18PF SMD 30 MHz ±50ppm
LFXTAL071257REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 24.0000MHZ 10PF SMD 24 MHz ±100ppm
LFXTAL059461REEL IQD晶振 IQXC-25 CRYSTAL 32.7680KHZ 7PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL026548REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 24.0000MHZ 18PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL028430REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 3.2768MHZ 18PF SMD 3.2768 MHz ±30ppm
LFXTAL028710REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 20.0000MHZ 18PF SMD 20 MHz ±50ppm
LFXTAL070065REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 24.0000MHZ 9PF SMD 24 MHz ±15ppm
LFXTAL033075REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 25.0000MHZ 18PF SMD 25 MHz ±50ppm
LFXTAL058149RL3K IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 24.0000MHZ 10PF SMD 24 MHz ±10ppm
LFXTAL069528REEL IQD晶振 IQXC-26 CRYSTAL 48.0000MHZ 8PF SMD 48 MHz ±15ppm
LFXTAL082128REEL IQD晶振 IQXC-42 CRYSTAL 30.0000MHZ 8PF SMD 30 MHz ±15ppm
LFXTAL066742REEL IQD晶振 IQXC-26 CRYSTAL 26.0000MHZ 8PF SMD 26 MHz ±15ppm
LFXTAL082072REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 20.0000MHZ 8PF SMD 20 MHz ±20ppm
LFXTAL062558REEL IQD晶振 IQXC-25 CRYSTAL 32.7680KHZ 9PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL035293REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 12.0000MHZ 16PF SMD 12 MHz ±50ppm
LFXTAL012312REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 5.0000MHZ 30PF SMD 5 MHz ±50ppm
LFXTAL019949REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 5.0000MHZ 20PF SMD 5 MHz ±50ppm
LFXTAL054208RL3K IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 12.0000MHZ 10PF SMD 12 MHz ±10ppm
LFXTAL082887RL3K IQD晶振 IQXC-42 CRYSTAL 10.0000MHZ 12PF SMD 16 MHz ±30ppm
LFXTAL032817REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 24.0000MHZ 18PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL071258REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 24.5760MHZ 10PF SMD 24.576 MHz ±100ppm
LFXTAL026382REEL IQD晶振 12SMX-B CRYSTAL 11.0592MHZ 16PF SMD 11.0592 MHz ±50ppm
LFXTAL059575REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 24.5760MHZ 18PF SMD 24.576 MHz ±30ppm
LFXTAL035269REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 30.0000MHZ 16PF SMD 30 MHz ±50ppm
LFXTAL057623REEL IQD晶振 IQXC-180 AUTO CRYSTAL 24.0000MHZ 8PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL059523REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 12.2880MHZ 18PF SMD 12.288 MHz ±30ppm
LFXTAL071269REEL IQD晶振 CFPX-218 AUTO CRYSTAL 24.5760MHZ 10PF SMD 24.576 MHz ±100ppm
LFXTAL017146REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 20.0000MHZ 30PF SMD 20 MHz ±50ppm
LFXTAL003058REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 3.579545MHZ 16PF SMD 3.579545 MHz ±50ppm
LFXTAL012313REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 14.7456MHZ 30PF SMD 14.7456 MHz ±50ppm
LFXTAL011300REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 4.0000MHZ 30PF SMD 4 MHz ±50ppm
LFXTAL059980REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 27.0000MHZ 18PF SMD 27 MHz ±50ppm
LFXTAL029370REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 16.0000MHZ 18PF SMD 16 MHz ±50ppm
LFXTAL028928REEL IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 11.0592MHZ 20PF SMD 11.0592 MHz ±50ppm
LFXTAL081609REEL IQD晶振 IQXC-26 CRYSTAL 25.0000MHZ 8PF SMD 25 MHz ±20ppm
LFXTAL030819REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 16.0000MHZ 18PF SMD 16 MHz ±50ppm
LFXTAL071259REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 25.0000MHZ 10PF SMD 25 MHz ±100ppm
LFXTAL071761REEL IQD晶振 IQXC-180 AUTO CRYSTAL 26.0000MHZ 8PF SMD 26 MHz ±50ppm
LFXTAL071791REEL IQD晶振 IQXC-180 AUTO CRYSTAL 27.0000MHZ 8PF SMD 27 MHz ±100ppm
LFXTAL081619REEL IQD晶振 IQXC-26 CRYSTAL 40.0000MHZ 8PF SMD 40 MHz ±20ppm
LFXTAL035503REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 16.3840MHZ 16PF SMD 16.384 MHz ±50ppm
LFXTAL069377REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 32.0000MHZ 18PF SMD 32 MHz ±30ppm
LFXTAL060843REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 50.0000MHZ 10PF SMD 50 MHz ±50ppm
LFXTAL035266REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 24.0000MHZ 16PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL059666REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 26.0000MHZ 10PF SMD 26 MHz ±50ppm
LFXTAL055316REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 16.0000MHZ 10PF SMD 16 MHz ±50ppm
LFXTAL061627REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 8.0000MHZ 16PF SMD 8 MHz ±30ppm
LFXTAL033265REEL IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 20.0000MHZ 18PF SMD 20 MHz ±50ppm
LFXTAL071256REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 20.0000MHZ 10PF SMD 20 MHz ±100ppm
LFXTAL026392REEL IQD晶振 12SMX-B CRYSTAL 16.0000MHZ 16PF SMD 16 MHz ±50ppm
LFXTAL065455REEL IQD晶振 IQXC-25 CRYSTAL 32.7680KHZ 6PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL071255REEL IQD晶振 IQXC-42 AUTO CRYSTAL 16.0000MHZ 10PF SMD 16 MHz ±100ppm
LFXTAL003074BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 4.0000MHZ 30PF TH 4 MHz ±50ppm
LFXTAL003335BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 7.3728MHZ 30PF TH 7.3728 MHz ±50ppm
LFXTAL026911BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 18.4320MHZ 16PF SMD 18.432 MHz ±50ppm
LFXTAL072404BULK IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 26.0000MHZ 18PF SMD 26 MHz ±30ppm
LFXTAL059535BULK IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 32.0000MHZ 18PF SMD 32 MHz ±30ppm
LFXTAL024944BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 16.0000MHZ 18PF TH 16 MHz ±50ppm
LFXTAL003132BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 6.0000MHZ 30PF TH 6 MHz ±50ppm
LFXTAL031736BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 12.0000MHZ 20PF TH 12 MHz ±50ppm
LFXTAL003224BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 14.7456MHZ 30PF TH 14.7456 MHz ±50ppm
LFXTAL003093BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 4.194304MHZ 12PF TH 4.194304 MHz ±50ppm
LFXTAL003037BULK IQD晶振 HC49 CRYSTAL 2.0000MHZ 20PF TH 2 MHz ±100ppm
LFXTAL078520BULK IQD晶振 HC49/3.5H CRYSTAL 3.6864MHZ 18PF TH 3.6864 MHz ±50ppm
LFXTAL026902BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 8.1920MHZ 16PF SMD 8.192 MHz ±50ppm
LFXTAL026504BULK IQD晶振 12SMX-B CRYSTAL 30.0000MHZ 16PF SMD 30 MHz ±50ppm
LFXTAL025159REEL IQD晶振 CFPX-56 CRYSTAL 32.7680KHZ 12.5PF SMD 32.768 kHz -
LFXTAL002996BULK IQD晶振 WATCH CRYSTAL 32.7680KHZ 12.5PF TH 32.768 kHz -
LFXTAL036229REEL IQD晶振 CFPX-180 CRYSTAL 9PF SURFACE MOUNT - ±15ppm
LFXTAL003181BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 20.0000MHZ 16PF SMD 20 MHz ±50ppm
LFXTAL026548BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 24.0000MHZ 18PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL003186BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 20.0000MHZ 20PF TH 20 MHz ±50ppm
LFXTAL003325BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 24.0000MHZ 30PF TH 24 MHz ±50ppm
LFXTAL010595BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 25.0000MHZ 16PF SMD 25 MHz ±50ppm
LFXTAL012504BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 24.0000MHZ 16PF SMD 24 MHz ±50ppm
LFXTAL078435BULK IQD晶振 HC49/3.5H CRYSTAL 20.0000MHZ 20PF TH 20 MHz ±50ppm
LFXTAL003169BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 10.0000MHZ 30PF TH 10 MHz ±50ppm
LFXTAL003166BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 10.0000MHZ 16PF SMD 10 MHz ±50ppm
LFXTAL033643BULK IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 14.31818MHZ 18PF SMD 14.31818 MHz ±50ppm
LFXTAL024901BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 25.0000MHZ 22PF TH 25 MHz ±50ppm
LFXTAL012313BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 14.7456MHZ 30PF SMD 14.7456 MHz ±50ppm
LFXTAL010689BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 7.3728MHZ 30PF SMD 7.3728 MHz ±50ppm
LFXTAL003260BULK IQD晶振 HC49/4HSMX CRYSTAL 3.6864MHZ 16PF SMD 3.6864 MHz ±50ppm
LFXTAL003185BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 20.0000MHZ 12PF TH 20 MHz ±50ppm
LFXTAL003312BULK IQD晶振 HC49 CRYSTAL 22.1184MHZ SERIES TH 22.1184 MHz ±50ppm
LFXTAL059539BULK IQD晶振 CFPX-104 CRYSTAL 48.0000MHZ 18PF SMD 48 MHz ±30ppm
LFXTAL003240BULK IQD晶振 HC49/4H CRYSTAL 16.0000MHZ 30PF TH 16 MHz ±50ppm










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